真空泵有水环式真空泵，干式（无油）式真空泵，有油旋片泵。单级泵的真空度要比双级真空泵的真空度要差一些，所以在真空滤油机上的应用也有所区别。真空泵分为单旋片真空泵和双旋片真空泵。单旋片真空泵转速为2800转/min;而双旋片真空泵的转速为1450转/min;双旋片真空泵能在很低的负极限压强下工作。
真空滤油机用于过滤绝缘油真空泵的选用建议：双级真空泵；对耐压，水分要求更高的需增加罗茨增压泵，形成双级真空，大大提高滤油的效率。
真空滤油机用于过滤液压油、汽轮机油，含水量教高的油真空泵的选用建议：单旋片真空泵为好。
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