三级绝缘油真空滤油机系统设计的要点:①在二级绝缘油真空滤油机的基础上提高真空系统的性能，在原有的机械真空泵与罗茨真空泵中间再增加一个罗茨真空泵，以获得较高的抽速和更高的真空度，提高处理效率。②系统流量采用全自动、变频控制。为了提高抽除水蒸气和其他有害气体的效率，三级真空系统方案为:罗茨真空泵+罗茨真空泵+机械真空泵组成的三级真空机组。
三级绝缘油真空滤油机真空系统应具有的性能:①变压器油净化:去除变压器油中的水分、有害气体。②变压器抽真空:对变压器本体抽真空，干燥变压器。
真空泵对真空分离室的抽气作用受以下两个因素影响:①真空泵本身的抽气能力。②管道对气体的阻力，由于该阻力的存在，使真空泵的实际抽速要小于理论抽速。采用二级真空系统，达到真空度高，抽气速率大，运行稳定可靠，操作维护方便等。
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